蚀刻加工之防蚀层的制作方法

    在化学蚀刻加工中，不同类型的方式采用的防蚀材料的种类也不相同。早期的金属蚀刻大多采用沥青、石蜡和松香这类基本原料来制作防蚀层。随着高分子化学工业的发展及感光技术的进步，当代防蚀层的技术制作已从过去的刻划法发展到现在的感光法，丝印法，激光光刻等多种制作方法并存的时代，从而为不同要求的产品生产提供了更多的选择。

    一、刻划法，刻划法防蚀层制作的基础是需要既满足蚀刻各项要求的同时又要容易剥离的防蚀及其配套的样板和熟练的刻划技术。这一方法受样板及刻划技艺的影响很大，普通民用领域的金属蚀刻，很少采用刻划法来进行防蚀层制作，主要用于宇航工业某些部件及一些大型工件的蚀刻加工。

    二、照相化学法，照相化学防蚀层的基础是光敏防蚀层，把感光树脂溶解于有机溶剂中变为一种溶液，再把溶液作为涂料，涂覆到金属表面，经过烘干成为对光敏感的耐蚀薄膜。如在这层感光膜上，放上一张带有图文的胶片，当紫外光透过这层带有图纹的照相胶片时，感光膜在透过胶片非图文部位的部分的紫光线照射下曝光，这种光敏房防蚀层的树脂便会在紫外线的作用下，光聚合并牢固附着在胶片透光部分的金属表面上，而这部分经过曝光的聚合的防蚀层和那些被胶片中有图文部分遮蔽而未受光照的光敏防蚀层不同，在显影集中它们是不溶解的。通过感光与未感光的光敏防蚀材料在显影剂中的溶解特性的不同，从而完成防蚀层的制作过程。这一方法由于其制作精度高、效率高而被普遍采用，尤其是对于精密的图文蚀刻来说，是使用的最为普遍的防蚀层制作技术。

    三、丝网印刷法，丝网印刷防蚀技术的发展和起步虽然比照相化学蚀刻法晚，但发展速度和普及程度很快。它可以看作是刻划防蚀技术的另外一种做法，采用漏印的方式，将需要保护的图文部分，转印在金属表面，从而完成图文防蚀层制作达到保护目的。

    四、激光光刻法，激光光刻技术在化学蚀刻领域中的应用已久，只是用于普通金属蚀刻的防蚀层制作，是最近十年逐渐普及。这一方法是采用喷涂的方法，将防蚀材料涂覆在金属表面，然后再用激光光刻机将需要蚀刻的图文部分的防蚀层光刻去除，暴露出基体金属，这一方法对平整工件表面的阴图文蚀刻具有较大优势。其最大的特点是图文精细度高，可以光刻出边缘平直且非常精细的线条，这是丝印法甚至感光法都难以做到的。

    五、二次转移法，用于无法采用一次转移法进行图文转移的工件，主要是针对一些异形面、形腔内壁等难以用丝印或感光的方法进行防蚀层制作的金属表面，在这些类型的工件中以各种模具型枪为主，是模具形腔的标准转移方法。